Esquema d'aire de retorn secundari per a sistema d'aire condicionat

El taller microelectrònic amb una àrea de sala neta relativament petita i un radi limitat de conducte d'aire de retorn s'utilitza per adoptar l'esquema d'aire de retorn secundari del sistema d'aire condicionat. Aquest esquema també s'utilitza habitualmenthabitacions netesen altres indústries com la farmacèutica i l'atenció mèdica. Com que el volum de ventilació per satisfer els requisits d'humitat a la temperatura de la sala neta és generalment molt inferior al volum de ventilació necessari per assolir el nivell de neteja, per tant, la diferència de temperatura entre l'aire de subministrament i l'aire de retorn és petita. Si s'utilitza l'esquema d'aire de retorn primari, la diferència de temperatura entre el punt d'estat de l'aire de subministrament i el punt de rosada de la unitat d'aire condicionat és gran, es necessita un escalfament secundari, la qual cosa comporta una compensació de calor freda en el procés de tractament de l'aire i més consum d'energia. . Si s'utilitza l'esquema d'aire de retorn secundari, es pot utilitzar l'aire de retorn secundari per substituir l'escalfament secundari de l'esquema d'aire de retorn primari. Tot i que l'ajust de la relació d'aire de retorn primari i secundari és lleugerament menys sensible que l'ajust de la calor secundària, l'esquema d'aire de retorn secundari ha estat àmpliament reconegut com una mesura d'estalvi d'energia de l'aire condicionat als tallers nets microelectrònics petits i mitjans. .

Preneu com a exemple un taller net de microelectrònica de classe ISO 6, l'àrea de taller neta de 1 000 m2, l'alçada del sostre de 3 m. Els paràmetres de disseny d'interiors són temperatura tn= (23±1) ℃, humitat relativa φn=50%±5%; El volum de subministrament d'aire de disseny és de 171.000 m3/h, uns 57 h-1 temps d'intercanvi d'aire i el volum d'aire fresc és de 25.500 m3/h (dels quals el volum d'aire d'escapament del procés és de 21.000 m3/h i la resta és volum d'aire de fuita de pressió positiva). La càrrega de calor sensible al taller net és de 258 kW (258 W/m2), la relació calor/humitat de l'aire condicionat és ε=35 000 kJ/kg i la diferència de temperatura de l'aire de retorn de l'habitació és de 4,5 ℃. En aquest moment, el volum d'aire de retorn primari de
Aquesta és actualment la forma més utilitzada de sistema de purificació d'aire condicionat a la sala neta de la indústria microelectrònica, aquest tipus de sistema es pot dividir principalment en tres tipus: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (bobina seca) +FFU. Cadascun té els seus avantatges i desavantatges i llocs adequats, l'efecte d'estalvi d'energia depèn principalment del rendiment del filtre i del ventilador i d'altres equips.

1) Sistema AHU+FFU.

Aquest tipus de mode de sistema s'utilitza a la indústria de la microelectrònica com "la forma de separar la fase de climatització i purificació". Pot haver-hi dues situacions: una és que el sistema d'aire condicionat només s'ocupa de l'aire fresc, i l'aire fresc tractat suporta tota la càrrega de calor i humitat de la sala neta i actua com a complement d'aire per equilibrar l'aire d'escapament i les fuites de pressió positiva. de la sala blanca, aquest sistema també s'anomena sistema MAU+FFU; L'altra és que el volum d'aire fresc per si sol no és suficient per satisfer les necessitats de càrrega de fred i calor de la sala neta, o perquè l'aire fresc es processa des de l'estat exterior fins a la diferència d'entalpia específica del punt de rosada de la màquina requerida és massa gran. , i part de l'aire interior (equivalent a un aire de retorn) es retorna a la unitat de tractament d'aire condicionat, es barreja amb l'aire fresc per al tractament de calor i humitat, i després s'envia al ple de subministrament d'aire. Barrejat amb l'aire de retorn de la sala neta restant (equivalent a l'aire de retorn secundari), entra a la unitat FFU i després l'envia a la sala neta. De 1992 a 1994, el segon autor d'aquest article va cooperar amb una empresa de Singapur i va portar a més de 10 estudiants graduats a participar en el disseny de l'empresa conjunta EUA-Hong Kong SAE Electronics Factory, que va adoptar l'últim tipus de purificació d'aire condicionat i sistema de ventilació. El projecte compta amb una sala blanca ISO Classe 5 d'aproximadament 6.000 m2 (1.500 m2 dels quals contractats per l'Agència Atmosfèrica del Japó). La sala d'aire condicionat està disposada paral·lelament al costat de la sala neta al llarg de la paret exterior i només adjacent al passadís. Les canonades d'aire fresc, d'escapament i d'aire de retorn són curtes i estan disposades sense problemes.

2) Esquema MAU+AHU+FFU.

Aquesta solució es troba habitualment en plantes de microelectrònica amb múltiples requisits de temperatura i humitat i grans diferències de càrrega de calor i humitat, i el nivell de neteja també és alt. A l'estiu, l'aire fresc es refreda i es deshumidifica fins a un punt de paràmetre fix. Normalment és adequat tractar l'aire fresc fins al punt d'intersecció de la línia d'entalpia isomètrica i la línia d'humitat relativa del 95% de la sala blanca amb temperatura i humitat representatives o la sala neta amb el volum d'aire fresc més gran. El volum d'aire de MAU es determina segons les necessitats de cada sala neta per reomplir l'aire, i es distribueix a la UTA de cada sala neta amb tubs segons el volum d'aire fresc requerit, i es barreja amb una mica d'aire de retorn interior per a la calor i tractament d'humitat. Aquesta unitat suporta tota la càrrega de calor i humitat i part de la nova càrrega de reumatisme de la sala blanca a la qual serveix. L'aire tractat per cada UTA s'envia al plènum d'aire de subministrament de cada sala neta i, després de la barreja secundària amb l'aire de retorn interior, la unitat FFU l'envia a l'habitació.

El principal avantatge de la solució MAU+AHU+FFU és que, a més de garantir la neteja i la pressió positiva, també garanteix les diferents temperatures i humitat relativa requerides per a la producció de cada procés de sala neta. Tanmateix, sovint a causa del nombre d'AHU configurats, ocupar l'àrea de l'habitació és gran, l'aire fresc de la sala neta, l'aire de retorn, les canonades de subministrament d'aire entrecreuades, ocupen un espai gran, el disseny és més problemàtic, el manteniment i la gestió són més difícils. i complex, per tant, sense requisits especials en la mesura del possible per evitar-ne l'ús.